超高真空設備的放氣分析

文章介紹了超高真空設備放氣的理論,并給出兩種放氣模型:Schram吸附模型和吸附-擴散模型;對設備的放氣理論值進行了計算,并通過四極質(zhì)譜儀得出的殘余氣體質(zhì)譜圖分析出材料放氣的成分.

作 者： 汪力 閆榮鑫 孫立臣 劉恩均 Wang Li Yan Rongxin Sun Lichen Liu Enjun   作者單位： 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所,北京,100094  刊 名： 航天器環(huán)境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 26(2)  分類號： V416.8  關鍵詞： 放氣   超高真空   材料   outgassing   ulwa-high vacuum   material  

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