氮氧混合氣體高壓脈沖電暈放電等離子體的分子束質(zhì)譜診斷研究

利用具有三級差分抽氣系統(tǒng)的分子束質(zhì)譜儀為檢測手段,對N2,O2混合氣體的線板式高壓脈沖電暈放電等離子體陰極板區(qū)的正離子成分進(jìn)行了診斷研究.實驗結(jié)果表明:在放電反應(yīng)室N2,O2混合氣體壓力1330～3325 Pa,峰值電壓4～10 kV及放電重復(fù)頻率10～100 Hz范圍內(nèi),N+2和O+流強(qiáng)相當(dāng),N+流強(qiáng)約為N+2流強(qiáng)的2～10倍.N+,N+2和O+流強(qiáng)隨脈沖峰值電壓、放電重復(fù)頻率的升高而增大,隨放電氣壓的變化則存在一極值.

作 者： 唐書凱 王文春 徐勇 劉佳宏 楊學(xué)鋒 吳彥   作者單位： 唐書凱,王文春,徐勇,劉佳宏,楊學(xué)鋒(大連理工大學(xué)等離子體物理化學(xué)實驗室,大連,116024)

吳彥(大連理工大學(xué)靜電與特種電源研究所,大連,116024) 

刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(2)  分類號： O461.1 O461.2+5  關(guān)鍵詞： 分子束質(zhì)譜   高壓脈沖電暈放電   離子檢測   N2+O2等離子體  

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