干涉法測(cè)量鋁薄膜的軸向應(yīng)力

將干涉法測(cè)量圓薄膜應(yīng)力的方法推廣到橢圓形鋁薄膜,利用Stoney公式和牛頓環(huán)原理測(cè)量了常溫下鋁薄膜長(zhǎng)軸和短軸方向上軸向應(yīng)力的大小,給出了應(yīng)力分布圖像.

作 者： 周思 陳迅馳 周惠君 王思慧 ZHOU Si CHEN Xun-chi ZHOU Hui-jun WANG Si-hui   作者單位： 南京大學(xué),物理學(xué)系,江蘇,南京,210089  刊 名： 物理實(shí)驗(yàn)  PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION  年，卷(期)： 2008 28(9)  分類號(hào)： O484.2  關(guān)鍵詞： 薄膜應(yīng)力   軸向應(yīng)力   切向應(yīng)力   Stoney公式   牛頓環(huán)   曲率半徑  

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