二氧化硅納米薄膜非平衡熱導(dǎo)率研究

二氧化硅納米絕緣薄膜的傳熱是靠聲子在薄膜的振動(dòng)實(shí)現(xiàn)的.聲子在納米薄膜結(jié)構(gòu)中傳輸?shù)姆瞧胶庑杂绊懥吮∧さ臒釋?dǎo)率,3ω實(shí)驗(yàn)方法是一種可以對薄膜熱導(dǎo)率進(jìn)行瞬時(shí)測量的方法,本文采用3ω方法分別測量低頻率段和高頻段的二氧化硅薄膜溫升及二氧化硅薄膜的熱導(dǎo)率,對二氧化硅薄膜的非平衡熱導(dǎo)率進(jìn)行了分析.

作 者： 馬連湘 王向?qū)?段占立 王澤鵬 何燕 WANG Xiang-ning MA Lian-xiang DUAN Zhan-li WANG Ze-peng HE Yan   作者單位： 青島科技大學(xué),山東,青島,266500  刊 名： 低溫物理學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS  年，卷(期)： 2008 30(3)  分類號： O51  關(guān)鍵詞： 納米薄膜   熱導(dǎo)率   非平衡  

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