音叉式硅微機械振動陀螺儀的粘滯阻尼研究

粘滯阻尼的研究對硅微機械振動陀螺儀的設計至關(guān)重要.而品質(zhì)因數(shù)的大小反映了阻尼特性.本文首先理論分析了硅微型機械振動陀螺儀粘滯阻尼的耗能,然后根據(jù)耗能分析給出了驅(qū)動結(jié)構(gòu)和敏感結(jié)構(gòu)的品質(zhì)因數(shù).

作 者： 裘安萍 蔡體菁 周百令 王壽榮 Qiu Anping Cai Tijing Zhou Bailing Wang Shourong   作者單位： 東南大學儀器科學與工程系,南京,210096  刊 名： 東南大學學報(自然科學版)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SOUTHEAST UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)  年，卷(期)： 2000 30(1)  分類號： V2  關(guān)鍵詞： 硅微機械振動陀螺儀   粘滯阻尼   品質(zhì)因數(shù)  

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