常壓下工作的微機械陀螺的頻率和阻尼特性

對微機械陀螺振動式陀螺的頻率和阻尼特性進行了分析和模擬.以設(shè)計的一種微機械陀螺為模型,對其驅(qū)動和檢測方向的阻尼力系數(shù)進行了計算,利用MATLAB模擬了阻尼對靈敏度以及頻率特性的影響.得出了不僅頻率匹配對微機械陀螺的性能有重要影響,而且阻尼匹配也會影響陀螺的靈敏度和頻率特性.

作 者： 劉曉為 陳宏 陳偉平 陸學(xué)斌 韓天 LIU Xiao-wei CHEN Hong CHEN Wei-ping LU Xue-bin HAN Tian   作者單位： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)MEMS中心,哈爾濱,150001  刊 名： 傳感技術(shù)學(xué)報  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2006 19(5)  分類號： V2  關(guān)鍵詞： 微機械電子系統(tǒng)   陀螺   阻尼匹配   頻率特性