激光回饋效應(yīng)及其傳感應(yīng)用研究的進(jìn)展

對基于激光回饋效應(yīng)的傳感應(yīng)用研究進(jìn)展進(jìn)行了綜述.由于激光回饋引起激光器功率波動一個條紋對應(yīng)外部反射鏡移動半個光波波長,功率波動深度與傳統(tǒng)雙光束干涉系統(tǒng)相當(dāng),基于該現(xiàn)象的激光回饋干涉儀與傳統(tǒng)的干涉儀相比具有相同的相位靈敏度.但其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、易準(zhǔn)直的特點,引起了國內(nèi)外科研者濃厚的興趣,開發(fā)了很多全新概念、經(jīng)濟(jì)實用的精密測量儀器.對激光回饋效應(yīng)在位移測量、速度測量、振動測量、距離測量、角度測量和形貌測量中的原理進(jìn)行了介紹,同時對各傳感應(yīng)用系統(tǒng)進(jìn)行了評述.

作 者： 毛威 張書練 張連清 朱鈞 李巖 MAO Wei ZHANG Shu-lian ZHANG Lian-qing ZHU Jun LI Yan   作者單位： 清華大學(xué),精密測試技術(shù)與儀器國家重點實驗室,北京,100084  刊 名： 光學(xué)技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： OPTICAL TECHNIQUE  年，卷(期)： 2007 33(1)  分類號： O4  關(guān)鍵詞： 激光回饋   自混合干涉   位移測量   速度測量   振動測量   距離測量   角度測量   形貌測量  

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