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脈沖電弧放電電離甲醇溶液制備碳膜的研究
利用脈沖電弧放電電離甲醇溶液在常壓下研究了含金剛石成分的碳膜的制備.用掃描電子顯微鏡(SEM)、傅里葉紅外光譜(FT-IR)、激光Raman光譜和X射線衍射(XRD)研究了在確定的基片溫度下甲醇濃度以及放電電壓等沉積條件對(duì)薄膜的形貌和金剛石的合成的影響.研究結(jié)果表明:在放電電壓低于2kV時(shí),薄膜主要由無序石墨和無定形碳組成.提高放電電壓有助于金剛石的合成,在高的放電電壓下,降低甲醇溶液濃度有利于提高碳膜中金剛石成分的含量.
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