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脈沖電弧蒸發(fā)源的研究

時間:2023-04-26 15:02:41 數(shù)理化學論文 我要投稿
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脈沖電弧蒸發(fā)源的研究

本文介紹西安工業(yè)學院研制的脈沖電弧蒸發(fā)源的原漸變膜的性能指標.

脈沖電弧蒸發(fā)源的研究

作 者:   作者單位:   刊 名: 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年,卷(期): 2004 24(z1)  分類號: O484.4  關鍵詞: 脈沖電弧   蒸發(fā)源   離子鍍   類金剛石膜   薄膜  

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